新開発・真空搬送システム
真空製造装置の受託専門メーカであるコミヤマエレクトロンは、多くのお客様からのご意見ご要望をふまえて、FPD・PVライン等の経済性と信頼性向上のために、従来にないプラットフォーム真空搬送システムを提案します。
本システムは、FPD・PVの真空搬送に特化することで、従来の基板搬送ロボットにおける機能のムダとりを徹底して行い、かつ、G6基板（18０0×1500mｍ）を20枚（200kg）まで一括搬送ができる画期的なシステムです。
FPD・PVの重量物搬送（200kg）に特化
G6ガラス基板（1800×1500mm）を20枚（200kg）まで一括搬送
最大ST2600mm ＋ 回転330度
高真空･クリーン搬送
真空度 超高真空 10-４Pa以下、クリーン搬送対応
耐高温環境 (200℃）仕様
機構要素と部材の見直しによる耐熱性確保
EtherNet/IP対応専用コントローラ搭載
市販の機器で、容易に制御ネットワークの構築や拡張が可能
豊富なバリエーション
アーム長・アームタイプの自在な組み合わせにより、カセットやガラス基板など様々な搬送に対応
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