従来の真空搬送システムの問題点
市場の急激な成長により、ソーラーパネル基板を大型化し一括処理することによる歩留まり向上及び生産設備のコスト削減が大きな目標となっています。
現在、真空装置メーカーが製作する装置において、大型基板を真空中で搬送する機構は、主に次の２つが主流です。
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a． 真空ロボット式搬送と課題
大型の真空ロボットは搬送精度は良いものの、非常に高額であり、かつ製作期間が長く、装置全体の製作期間に多大な悪影響を及ぼしています。（大型の真空ロボット製作メーカーは限られています。）
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b． ローラー式搬送と課題
ローラー搬送式は安価であり、部品調達も容易であるが、搬送精度、発塵性に課題があり、使用する用途が制約されてしまいます。
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新開発高真空搬送システムのメリット
大幅な高効率化を実現するために、パネルを製造する真空装置（CVD装置、スパッタ装置、蒸着装置、エッチング装置）に共通して使用できる経済性と信頼性を向上させた従来にないプラットホーム真空搬送システムです。専用搬送機構を開発することにより、大型基板（重量物）搬送に於ける低発塵性、搬送精度に優れた安価な真空搬送システムを実現しました。
主な特徴は、以下のとおりです。
- 大型・G6基板（18０0×1500mm）を20枚（200kg）まで一括搬送できます。
- 高真空でクリーン搬送が可能です。
- 200℃まで耐えられる高温特性を実現しました。
- EtherNet/IP対応専用コントローラ搭載し、市販の機器で容易に制御ネットワークの構築や拡張が可能です。
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