新機構の概要
下記の新機構（2軸搬送システム）の駆動方法を更に改善し、より高温、高荷重に耐えられる新機構を開発中です。
(1) 搬送機構
2段式のLMガイドをアームによって伸縮方向へ駆動し、この機構全体をθ軸回転させる2軸搬送機構です。第２アーム先端とフォークが連結され、第1・第2アームの旋回動作により、搬送レールに沿って基板を搬送します。構成は、フォーク、アーム、2段式搬送レール（X軸）、旋回機構（θ軸）です。
図 新機構搬送装置
(2) 駆動軸（xθz）
上述しましたようにフォークは、X軸方向2600mmまで可動可能、θ軸の回転角度は最大330°まで、Z軸方向は、最大100mmまで可能です。駆動機構は、2軸回転導入器、遊星ギア、θ軸モータ（DCモータ）、X軸モータ（ステッピングモータ）で構成されています。
(3) 重量物搬送のガイドレール機構
新発想のVガイドホイール/トラックレールを採用し、200kgというヘビー級の重量物搬送を高剛性かつ高精度に行います。
(4) ノンバックラッシの高精度搬送
ハーモニックドライブ及びTCGライナー採用により、バックラッシュレス駆動機構を実現し、繰り返し精度の高い搬送を可能にしました。
EtherNet/IP対応専用コントローラ搭載
市販の安価な機器で、簡便に制御ネットワーク構築可能
EtherNet/IP(Ethernet Industrial Protocolの略称)は、市販のEthernet機器を利用できる、オープンな産業用ネットワーク規格です。EtherNet/IPは、DeviceNetやCompoNetなどのオープンネットワークの世界的な普及を支援している独立機関であるODVAにより規格の仕様が管理されています。
 EtherNet/IP(Ethernet Industrial Protocolの略称)は、市販のEthernet機器を利用できる、オープンな産業用ネットワーク規格です。EtherNet/IPは、DeviceNetやCompoNetなどのオープンネットワークの世界的な普及を支援している独立機関であるODVAにより規格の仕様が管理されています。
EtherNet/IPでは、デバイスレベルのデータにインターネットからアクセスできます。又、国際的な規格の共通プロトコルCIP対応でセンサから上位まで横断的にシステム構築が可能です。
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