解析と評価試験
ＣＡＥ解析
 右の画像は、搬送システムのフォーク部の解析イメージです。200kgのガラス基板を搬送する為には、強度解析は不可欠となります。特に2段式のフォークがオーバーハングした状態が、一番厳しい設定になります。
開発品の搬送システム評価試験
 下記項目について、評価試験を行います。
- 搬送負荷・トルク測定
- 動作速度計測
- Ｘ軸搬送精度測定
- θ軸搬送精度測定
- 耐久試験
- 搬送時のたわみ量測定
搬送システムの搬送精度確認
 ハンドの伸び位置を非接触レーザー測定器で繰り返し精度（再現性）を評価します。
結果として、右のグラフのとおり、実用上十分な精度範囲に収まっています。
到達圧力、残留ガス、放出ガス速度の計測
四重極型質量分析計を使用した残留ガス測定
四重極型質量分析計では、気体分子の質量ｍ（amu）（amuはatom mass unitの略）を電荷量z（整数）で割ったものを観測します。
搬送システムを真空チャンバーに入れた場合には、水素、水、炭化物、窒化物などに加えて、潤滑剤が由来と思われる炭化水素ガスや炭化フッ素ガスも観測されます。これらのガスは、常温では圧力にほとんど寄与しませんが、温度を上げると蒸発量が多くなり影響を与える可能性があります。
|
