新開発・大型ゲートバルブ
新開発・大型ゲートバルブの特長
新開発の開閉機構
大型化に対応するよう、全く新しい発想で開閉機構を開発しました。サーボモータ制御による高速開閉動作により、高い生産性と信頼性を実現しました。
独自のシール方法
弁体シール方法等を見直し、開口部2ｍ×2ｍにもかかわらず安定したシール性と信頼性を可能としました。
クリーン仕様
機構部品の材料・表面処理の最適化、構造の見直しにより、クリーン度クラス10に対応します。
EtherNet/IP対応専用コントローラ搭載
容易に制御ネットワークを構築し、状態監視やプログラマブル開閉制御が可能です。
原点復帰不要
全軸にABSエンコーダ仕様のACサーボモータを使用し、原点復帰動作が不要となりました。
大型ゲートバルブ基本仕様
| 開口部サイズ |
2000mm×2000mm |
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| 面間寸法 |
350mm |
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| ヘリウムリーク量 |
1.3x10^-9Pa*m3/sec |
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| 開閉時間 |
15秒以内 |
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| バルブ寿命 |
50万回 |
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真空（ゲート）バルブとは？
真空バルブとは、真空と真空、真空と大気を隔離するためのものです。ディスプレイや半導体基板を作製するうえでの各種工程を隔離するために使用されるほか、真空チャンバーと真空ポンプの間に配置して、チャンバーの圧力を調整するためにも使われます。
真空（ゲート）バルブへの要求
真空バルブには、熱、ガス、プラズマ等が付加された真空を隔離するほか、これらの真空状態を破壊することなく大気と隔離する気密性が要求されます。又、製造装置の一部を構成するユニットとしての機能性や生産性が要求されます。
新開発大型ゲートバルブの構造と特徴
真空バルブゲートバルブは基板が通過するための角型開口をもったケース（弁箱）と開口を塞ぐための仕切り板（弁板）、および弁板を動作させる機構（駆動部）で構成されます。
処理室へ投入された基板はゲートバルブを閉じることで密閉された環境に保たれ、ここで各種製膜のため熱、ガス、プラズマ等にさらされます。これらの工程は主に真空下で行われ、この環境を保つためゲートバルブには高いシール性が要求されます。
本製品では、弁板を開口位置まで移動させたのち、開口シート部に押付ける独自の機構を採用しており、均一かつ強固な押し付け力を確保しています。さらに、弁板には最適な弾性材（Ｏリング）が組み込まれておりその反発力でシール性を確保します。
高いシール性を確保するためには、大型ゲートバルブにおいても、弁板シール材を均一に加圧させる必要があります。これを実現させるために、弁板を多点で押す独自の方法で対応しています。
サーボモータ制御による高速開閉動作により、開閉時間は、開口部2ｍ×2ｍにもかかわらず、15秒以内という生産性を実現しています。
弁箱は、前後のチャンバーで挟み込む形の構造としており、これは、ゲートバルブとして標準的な形状です。
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