受託生産の真空製造装置メーカならではの一貫生産体制

真空搬送システムとしてのプラットフォームで提供可

1．自社設計１（構造設計、システム設計）

　真空装置の専門的ノウハウを保有する経験豊富な技術スタッフが、お客様の多様なニーズや課題に対し、提案型でかつ高信頼の設計を行います。最新鋭の3D-CADと自社開発の真空装置用解析モデルを用いて、効率的かつ高信頼のシステムを実現します。

2．自社設計２（電機設計、ソフトウェア設計）

　右の画像は、自社開発の自動シーケンスソフトの一例です。機械に行わせる動作を順序正しく覚えさせ、始動ボタンを押すことにより制御装置がすべて仕事を行います。圧力、時間などの条件設定も逐次可能です。

3．自社加工（MC・NC加工・溶接・洗浄）

　真空装置メーカでは、国内最大級の大型マシニング群最新鋭の超大型五面加工機の導入により、X：8250、Y：4500、Z：2500ものワーク範囲を実現。高精度、高効率の加工生産体制を確立しました。

4．自社組立（大型クリーンルーム）

　第8～10世代に対応する超大型装置用クリーンルームほか、中～大型クリーンルームを3つ完備、お客様の多様な装置生産に対応できます。

5．高度な評価試験、信頼性試験

　お客様の多様なニーズに対応した信頼性試験・評価試験を行い、製造装置の高度化に貢献いたします。

搬送システムの搬送精度確認

Ｘ軸：ハンドの伸び位置（到達点）を非接触レーザー測定器で繰り返し精度（再現性）を評価します。

θ軸：回転軸の停止位置決めについて、繰り返し精度（再現性）を評価します。

到達圧力、残留ガス、放出ガス速度の計測

　ステージを挿入した場合と、ステージなしの場合で、到達圧力の時間変化、残留ガス分析、放出ガス速度を計測します。